유연한 화면에서 레이저 절단의 응용
2021-12-08911

폴더블 휴대전화의 등장은 휴대전화와 태블릿의 경계를 허물고 5G 애플리케이션을 지원하며 전자 정보 산업의 이정표가 도래했음을 의미합니다.

 

 

접이식 화면 휴대 전화의 새로운 성능은 생산 가공 기술에 대한 요구 사항도 높아졌습니다. 휴대폰 가공 체인 제조 링크의 70% 다양한 레이저 공정을 사용했습니다.

 

 

flexible OLED 생산 공정에서 laser processing 공정에서 중요한 역할을 하며 laser 유연성과 효율성으로 인해 flexible 생산 라인의 선택이 되었습니다.

 

현재 플렉서블 스크린과 다양한 웨어러블 전자 제품은 소비자 가전 산업의 트렌드 하나가 되었습니다. 유연한 재료의 다층 구조는 유연한 재료의 가공을 매우 복잡한 문제로 만듭니다. 초고속 레이저 기술의 성숙과 비용 절감으로 인해 유연한 재료 가공에 응용 가능성이 높아졌습니다.

 

 

플렉시블 디스플레이 패널 생산 레이저 박리 공정 플렉시블 스크린 측면에서 LLO 레이저 제거 기술은 플렉시블 PI 기판과 유리 백플레인을 박리하는 핵심 공정이다. 전체 OLED 제조 공정에서 레이저 수리 기술은 패널 제조 수율을 효과적으로 향상시킬 있습니다.

 

 

위의 모든 것은 OLED 패널 제조에 레이저 기술을 적용한 것입니다. 플렉서블 디스플레이 패널이나 반도체 초박형 웨이퍼를 양산하기 위한 기존의 방법은 폴리머가 코팅된 리지드 글라스 캐리어에 먼저 회로를 조각하고, 최종 공정 단계에서 캐리어에서 소자를 떼어내는 것이다.

 

 

기술적인 해결책은 자외선 엑시머 레이저의 라인빔을 유리기판 캐리어를 통해 투과시켜 폴리머층에 조사하는 것이다. 레이저의 파장이 짧기 때문에 재료의 레이저 흡수율이 높고 유리 기판에 인접한 폴리머만 증발하여 기판과 소자의 분리를 실현한다.

 

 

레이저 리프트 오프에 308nm 엑시머 레이저를 사용할 레이저 펄스 폭은 25ns이고 필요한 에너지 밀도는 200J/cm2입니다. 또한 레이저 파장이 짧고 흡수율이 높기 때문에 리프트오프 과정에서 레이저 흡수를 향상시키기 위해 추가적인 전이층을 준비할 필요가 없다.

 

 

많은 기존의 경질 캐리어 분리 기술이 대규모 생산에 적합하지 않다는 것이 실습을 통해 입증되었습니다. 예를 들어, 기계적 박리 기술과 화학적 에칭 공정은 생산 효율이 낮고 한계가 크며 생산 수율이 높지 않습니다. 후자의 방법조차도 환경에 해를 끼칠 것입니다.

 

 

대조적으로, 레이저 리프트오프 프로세스가 나은 선택입니다. 폴리머와 유리 캐리어 사이의 계면 근처에서 레이저 흡수를 제한하기 위해 프로세스는 가능한 가장 짧은 파장(350nm보다 짧은 파장) 레이저를 사용해야 합니다. 엑시머 레이저는 단파장(308nm 248nm 레이저 리프트오프 공정에서 일반적으로 사용됨), 높은 에너지 전력의 특성을 가지므로 정밀 마이크로 전자 장치의 생산에서 레이저 리프트 오프용 엑시머 레이저의 사용은 높은 수율뿐만 아니라 대량 생산은 마이크로 전자 공학 시장의 대량 생산 요구를 충족시킬 있습니다.

 

실제로 고품질 라인 광학 장치가 있는 단파장 엑시머 레이저 시스템은 대량 생산에 필수적입니다. 레이저 리프트오프 기술은 일반적으로 고가 부품 준비에 사용됩니다. 레이저 리프트 오프 기술은 일련의 높은 비용 프로세스 단계 후에 위치합니다. 레이저 리프트오프 공정은 많은 고부가가치 부품 해당 부품을 준비하는 핵심 기술입니다. 플렉서블 스크린을 준비하는 과정에서 레이저 리프트오프 공정의 불량률은 1% 연간 수백만 달러가 발생합니다. 이익 손실. 플렉서블 스크린 레이저 커팅 기술 접는 스크린 휴대폰이 유리 스크린 1장에서 2장으로 바뀌었고, 유리의 양이 배로 늘어났다. 기존의 가공 방법으로 유리를 절단하면 치핑 균열과 같은 문제가 발생하기 쉽습니다.

 

 

이에 비해 레이저 절단 공정은 비접촉 가공 방식을 채택하여 얇은 유리 초박형 유리 가공에 적합합니다. 그것은 특별한 모양의 절단을 실현할 있고 작은 절삭 붕괴, 고정밀 등의 장점이 있으며 공작물 수율과 처리 효율을 크게 향상시킵니다. OLED 플렉시블 디스플레이 기술의 일반적인 추세가 설정됨에 따라 점점 많은 레이저 회사가 새로운 전략을 전개하기 시작했습니다.

 

관련 회사는 최대 1,600kHz 반복 주파수에서 30W 평균 UV 출력을 제공할 있는 높은 펄스 반복 주파수를 가진 차세대 초단 펄스 레이저 HyperRapid NX 출시하여 OLED 절단 애플리케이션의 벤치마크가 것으로 이해됩니다. Huagong 레이저는 유연한 스크린의 신속한 절단을 위해 특별히 개발된 피코초 레이저로 유연한 스크린 자동 절단기를 개발했습니다.